摘要 (第2/2页)

   2.研究假设

    -材料改X或奈米结构设计可提升电子迁移率，降低阈值电压及功耗。

    -优化制程条件可改善元件X能稳定X并提高制作良率。

    五、研习与研究方法

    1.文献研习与资料整理

    -系统半导T元件、材料及制程相关SCI期刊与专利文献。

    -整理新型材料特X、元件结构及制程技术的最新进展。

    2.实验技术学习与C作

    -材料制备：CVD、ALD、溅S沉积等薄膜沉积技术。

    -元件制程：光刻、蚀刻、离子植入、热处理等。

    -特X分析：电子显微镜SEM/TEM、XS线衍SXRD、电X测试IV曲线、电子迁移率测定。

    3.数据分析与模拟

    -运用TCAD模拟元件X能，分析材料与结构对X能的影响。

    -统计分析实验数据，确保结论可靠X

    六、研习进度规划

    时间阶段研习目标

    第1～3个月文献研读，确认研习题目与实验方案

    第4～6个月熟悉设备与制程技术，完成初步预实验

    第7～12个月系统X实验C作，收集材料与元件X能数据

    第13～18个月优化制程参数与材料结构，分析X能改善机制

    第19～24个月整理研习成果，完成研习报告及学术发表稿

    七、预期成果

    1.熟练掌握半导T材料、元件制程及分析技术。

    2.完成研习报告，并具备论文撰写与学术发表能力。

    3.提出新型半导T材料或元件X能改善策略，具有学术与产业应用价值。